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產(chǎn)品中心在線分析儀器質(zhì)量流量計(jì)S48-300高精度(RS精度)/快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號(hào)：S48-300
更新時(shí)間：2025-04-07
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：280
服務(wù)熱線
產(chǎn)品分類
| 品牌 | HORIBA/堀場(chǎng) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 差壓式 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,汽車及零部件 |
| 動(dòng)態(tài)范圍 | 300 SCCM | 支持氣體 | N?、Ar、H?、He、O?等 |
| 控制精度 | ±1.0% | 響應(yīng)時(shí)間 | ≤1 秒 |
| 通信接口 | 模擬電壓信號(hào)（0~5 VDC）或數(shù)字通訊（選配） | 使用溫度 | 5～50°C |
| 工作壓力 | 50～300 kPa |
HORIBA S48系列高精度(RS精度)/快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），適用于多種氣體控制場(chǎng)合，兼具高精度、快速響應(yīng)和高穩(wěn)定性，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、分析儀器、真空工藝、環(huán)境監(jiān)測(cè)、光纖制造等領(lǐng)域。
安裝靈活：支持任意角度安裝，提升現(xiàn)場(chǎng)布局的自由度。
高精度控制：采用多段線性調(diào)整技術(shù)，控制精度更高，調(diào)節(jié)比更寬。
快速響應(yīng)：T98響應(yīng)時(shí)間小于1秒，滿足快速過程控制需求。
自動(dòng)零點(diǎn)調(diào)整：具備自動(dòng)零點(diǎn)修正功能，有效補(bǔ)償環(huán)境變化帶來的偏差。
多氣體兼容：可適用于N?、O?、Ar、He、H?等多種氣體。
豐富的流量范圍：覆蓋10 SCCM至50 SLM，滿足從微量到大流量的不同應(yīng)用。
分析儀器：用于氣相色譜、光譜儀、質(zhì)譜儀等氣體控制部分。
實(shí)驗(yàn)室研究：氣體混合、等離子體實(shí)驗(yàn)、化學(xué)反應(yīng)氣體流量控制。
半導(dǎo)體與真空工藝：PVD、CVD、刻蝕、擴(kuò)散等工藝中的精密氣體輸送。
太陽能電池制造：氣體沉積、氣氛控制。
光纖制造：MCVD/VAD/OVD等工藝中對(duì)反應(yīng)氣的精確控制。
環(huán)境監(jiān)測(cè)：VOCs檢測(cè)、PM2.5分析、動(dòng)態(tài)稀釋系統(tǒng)。
爐窯控制：氣體配比、燃燒控制等工業(yè)過程。
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