MU100XE 干式真空泵

產品簡介：

KASHIYAMA MU100XE 干式真空泵，適用于半導體、LED、液晶等高潔凈工藝。無油設計，穩定高效，支持高強度連續運行。

產品型號：

更新時間：2025-05-20

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產品介紹

品牌	KASHIYAMA/日本	價格區間	面議
儀器種類	真空泵	產品類型	無油泵
產地類別	進口	應用領域	食品/農產品,能源,制藥/生物制藥,綜合

KASHIYAMA MU100XE 干式真空泵

產品簡介

MU100XE 干式真空泵 是日本樫山工業（KASHIYAMA）MU-XE 系列中的高性能干式真空泵，專為半導體、液晶顯示器、LED 和光伏行業設計，具備無油潔凈、節能環保、結構緊湊、易于維護等優勢。憑借其可靠的性能和穩定的運行能力，MU100XE 已廣泛應用于多種嚴苛的工藝環境中。

技術參數

抽速：1660 L/min
極限壓力：1.5 Pa
電源：三相 AC 200–220V，50/60Hz
功耗：約 0.25 kW
尺寸：450 × 230 × 275 mm
重量：約 60 kg

產品特點

無油干式設計：無需油封，避免油蒸汽污染，特別適合潔凈室和敏感工藝環境。
高抽速、低能耗：優化的Roots轉子結構，提供高達1660 L/min的穩定抽速，節能高效。
結構緊湊，易集成：體積小巧，適用于空間受限的自動化設備或成套系統集成。
超低維護成本：部件壽命長，維護周期延長，降低運營成本。
適配性強：可兼容多種工藝氣體環境，適用于CVD、PVD、刻蝕、封裝等多種工藝流程。

應用領域

半導體制造設備（刻蝕、沉積、蝕刻等）
液晶顯示器（LCD）生產線
太陽能光伏組件制造
LED 芯片制造
電子封裝與測試設備
真空鍍膜和涂層系統

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