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HORIBA D700MG 是一款高響應壓力非敏感質量流量控制器,專為半導體及相關行業中對高精度、快響應和耐腐蝕性有嚴格要求的氣體輸送工藝而開發。
D700T是為關鍵半導體制造工藝設計的性能優秀的壓力不敏感質量流量控制器。D700T采用了HORIBA CRITERION基于壓力的流量測量和控制技術,以提供行業優秀的可重復和準確的性能。
HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速響應質量流量控制器(Mass Flow Controller,簡稱MFC)廣泛應用于半導體制造、太陽能電池生產、真空鍍膜、分析儀器以及科研實驗等領域。
HORIBA S48系列氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC),適用于多種氣體控制場合,兼具高精度、快速響應和高穩定性,廣泛應用于半導體制造、分析儀器、真空工藝、環境監測、光纖制造等領域。
SEC-8000F/D/E 系列高溫數字式質量流量控制器可在 15℃ 至 120℃ 的高溫環境下工作,用于半導體和化合物半導體加工在內的各種工作任務。